Tabla de contenido
Publicidad
NE!
VÝSTRAHA!
Aby se zamezilo úrazu, nikdy nestrkejte prsty nebo jakékoli
předměty do vstupního otvoru turbovývěvy. Důrazně
doporučujeme
používání
příslušenství). Pokud se na vstupním otvoru používá tlumič
vibrací nebo pružná kovová manžeta, zajistěte připevnění
vývěvy k základně.
Tuto vývěvu lze instalovat v libovolné poloze.
Turbovývěvu upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 200 Nm kolem své osy, nebo použijte
doplňkovou soupravu pro upevnění k základně.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
ISO 63
příchytky M10
Příchytky M8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
Chcete-li připevnit vývěvu její základnou, je třeba přišroubovat
tři šrouby M4 do předpokládaných otvorů v základně vývěvy.
Použité šrouby musí mít minimální pevnost v tahu 500 N/mm
a musí se dotáhnout utahovacím momentem 0,9 Nm.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Všechny pokyny ke správnému používání turbovývěvy jsou
uvedeny v manuálu pro ovládací jednotku.
Před použitím vývěvy si pečlivě prostudujte tento návod.
Aby bylo možné docílit lepší (nižší) základní tlak, můžete použít
doplňkový ohřívač a zahřát plášť vývěvy. Při ohřevu vývěvy
nesmí teplota její přívodní příruby překročit 120 °C. Během
zahřívání používejte vždy vodní chlazení.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
ochranné
mřížky
(zvláštní
POČET
UTAHOVACÍ
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odčerpávání agresivních plynů používejte speciálně
konstruované verze vývěvy Turbo - V 70LP. Tyto vývěvy jsou
vybaveny speciálním otvorem, kterým musí protékat inertní plyn
v rozmezí 0,4 až 1 mbar l/s.
ÚDRŽBA
Vývěva řady Turbo-V70LP nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným
"WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie)
určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován
společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale
2
je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí
být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
VAROVÁNÍ
VAROVÁNÍ
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety" (Zdraví a
LIKVIDACE
87-900-862-01(G)
Publicidad
Tabla de contenido
