Varian Turbo-V 2000 ICE Manual De Instrucciones página 9

NEIN
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Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Tur-
bopumpe immer am Unterteil fest installiert.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt
werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Informati-
on".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000 ICE dürfen
nur mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9448,
969-9449) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Informati-
on"). Die Turbopumpen können in jeder Position installiert wer-
den.
Bei waagerechter Pumpenlage ist sicherzustellen, daß der
Controller für den "Betrieb in waagerechter Lage" vorgese-
hen ist.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für
die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH KLEMM-
SCHELLE
ISO K 250 Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Einzelschelle mit
M10-Gewinde
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ISO F 250 (bolted) ist an
der Vakuumkammer mit 12 Mutterschrauben M10 zu befesti-
gen. Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit
dem speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuum-
kammer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe An-
hang "Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information".
GEFAHR!
AN. ANZUGS-
MOMENT
12 22 Nm
12 22 Nm
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serkühlung arbeiten.
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Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
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Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck sein.
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Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
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Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
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Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000 ICE sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
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Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
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ACHTUNG
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ACHTUNG
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ACHTUNG
GEFAHR!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-915-01(E)