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1. 装置とサンプルプローブを接続することができる長さに吸気チュー
ブを切断します。チューブはできるだけ短くしてください。長さが
3 m 以下であることを確認してください。
2. カウンターを真空源と接続するための真空チューブを切断します。
チューブはできるだけ短くしてください。
3. 取り付け時にチューブに異物が入り込まないように、 チューブの端に
カバーを取り付けます。
4. フックまたはケーブルタイを 1.2 m 以下の間隔で取り付けて、 チュー
ブを固定します。チューブの曲げ半径が 10 cm 以上になっていて、
空気流量が減少しないことを確認します。
5. 吸気チューブを装置の吸気用継手に接続します。チューブのもう一
方の端を付属のサンプルプローブに接続します。
6. 真空チューブをカウンターの裏面 (または側面) にある継手に接続し
ます。真空チューブのもう一方の端は、 クリーンルームのサンプリン
グ準備が整うまで接続しないでください。
配線
配線にあたっての安全
感電死の危険。ローカル電源切断へのアクセスが容易であることを確
認します。
電気配線を接続する前に必ず装置の電源を切断してください。
装置への接続が行われる間は、すべての安全に関する記載事項に従って
ください。
電源に接続
外部電源 (24 VDC) を 5 ピンまたは 10 ピンコネクタに接続します。配
線情報については、図 7 と表 5 または図 8 と表 6
外部電源の出力電圧が 28 VDC を超えていないことを確認してくださ
い。
通信オプションに応じて、外部電源に接続できる装置の最大数は異なり
ます。詳細については、技術サポートにお問い合わせください。
100
日本語
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警 告
告 知
を参照してください。
5
ピンコネクタの配線については、図 9
10
ピンコネクタの配線については、図 10
い。
図 7 5 ピンコネクタ
表 5 5 ピンコネクタ配線
ピン
説明
ピン
1
—
4
2
—
5
3
コモン (シールド接地)
図 8 10 ピンコネクタ
に示す手順を参照してください。
に示す手順を参照してくださ
説明
ユニット主電源 (9 ～ 28 VDC、最大 1 A)
コモン
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