NEE!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele
reden,
de
vingers
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage "Technical
Information" voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V1800A
mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de
speciale Varian controllers (serie 969-9561, 969-9461) en
moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical Information").
De turbopomp moet in verticale stand worden geïnstalleerd of
op haar kop, waarbij de hellingsgraad t.o.v. de verticale as
maximaal 10° mag bedragen.
De pomp kan op haar pootjes worden gezet of met behulp van
de inlaatflens worden opgehangen.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 2814 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS
KLEMTYPE
ISO 250
Dubbele klem
met M10
schroefdraad
Enkelvoudige
klem met M10
schroefdraad
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical Information".
Als de pomp op haar pootjes wordt gezet, moeten deze pootjes
aan het steunvlak worden bevestigd met behulp van M6
schroefdraadgaten die zich onder de pootjes moeten bevinden.
Deze gaten bevinden zich op een cirkelomtrek met diameter
van 285 mm (11,22 duim).
Zie "Technical Information" voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
of
voorwerpen
in
de
NR.
AANHAALKOPPEL
6
22 Nm
12
22 Nm
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd
worden
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe (zie bijlage
"Technical Information" voor aanwijzingen over de aansluiting
van de waterkoeling aan de pomp).
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde
poort
moet
atmsoferische druk) bedragen.
Vermijd
stoten
of
turbopomp in werking is. De lagers kunnen hier namelijk
schade door oplopen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage "Technical Information").
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare,
giftige
of
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V1800A zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
met
behulp
van
een
GEVAAR!
ATTENTIE!
minder
dan
2
bar
(boven
ATTENTIE!
bruuske
verplaatsingen
wanneer de
ATTENTIE!
GEVAAR!
radioactieve
gassen,
moeten
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-867-01(A)
optionele
de
de