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Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à la-
quelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utili-
sée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon
plus générale pour des applications impliquant un vide "propre".
Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum
Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie.
NON!
DANGER!
Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser le
filet de protection fourni en option. En cas d'utilisation d'un
amortisseur de vibrations ou d'un soufflet métallique flexible
sur la bouche d'entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa
base.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
-
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
-
température: de +5°C° à +35°C
-
humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se
reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000HT ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Va-
rian (série 969-9462, 969-9562) et elles doivent être connec-
tées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical
Information").
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position.
DANGER!
Le niveau de puissance fourni à la pompe doit être adapté au
type de gaz pompé. Le contrôleur (voir manuel correspondant)
permet de sélectionner AIR ou ARGON (par défaut : ARGON).
Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz différents, veuillez
contacter Varian.
Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant sup-
porter un couple de 30000 Nm autour de son axe.
La turbo pompe avec collerette d'entrée ISOF doit être fixée à
la chambre à vide à l'aide de 12 vis M10 en acier d'une classe
de résistance minimum de 8.8 (
de serrer à un couple de 22 Nm.
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-
vus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appen-
dice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
2
= 800 N/mm
). Il est conseillé
s
r
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur-
bopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il
est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la
pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauf-
feur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du
vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne
doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement
par eau pendant les opérations de chauffage.
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-
rer.
!
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir
à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger
les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de
gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé-
brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du
rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service répa-
rations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service"
qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la
pompe endommagée.
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara-
tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par-
venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-
pédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales en la matière.
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MODE D'EMPLOI
DANGER!
ATTENTION !
ATTENTION !
ATTENTION !
DANGER!
DANGER!
NOTE
87-900-969-01(B)
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