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Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacío "limpio". Respecto de otras
aplicaciones
sírvase
contactar
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en
ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.
NO!
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
-
presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
-
temperatura: de +5°C a + 35°C
-
humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
"Technical Information" para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.
¡PELIGRO!
El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser
predispuesto en función del tipo de gas bombeado. Operando
mediante el controller (véase el manual del controller) es
posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON).
Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sírvase
contactar previamente con Varian.
Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la
cámara de vacío mediante 12 tornillos M10 de acero de clase
no inferior a 8.8 (
= 800 N/mm
s
r
apriete de 22 Nm.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice "Technical Information".
Para la instalación de los opcionales, véase "Technical
Information".
con
Varian
Vacuum
2
). Se sugiere aplicar un par de
UTILIZACIÓN
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua
durante las operaciones de calentamiento.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.
!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
"Technical Information").
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por
personal autorizado.
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba
abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50
ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad
y
Salud"
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el
embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
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INSTRUCCIONES DE USO
¡PELIGRO!
¡ATENCIÓN!
¡ATENCIÓN!
¡ATENCIÓN!
¡PELIGRO!
¡PELIGRO!
NOTA
adjunta
al
presente
manual
87-900-969-01(B)
de
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