Tabla de contenido
Publicidad
Varmista, että pumppu soveltuu tarkoitettuun käyttöön. Pumppu
on suunniteltu käytettäväksi PVD-pumppausjärjestelmissä tai
yleensä tarkoituksiin, joissa vaaditaan "puhdasta" tyhjiötä. Ota
yhteys
Varian
Vacuum
jälleenmyyjään,
jos
pumppua
tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se
joutuu
kosketuksiin
sateen,
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
räjähdys- tai tulipalovaara.
EI!
VAARA!
Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun
syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme
pikkuisen
(valinnainen),
mikäli
tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä
turbopumppu aina jalustaan kiinni.
Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
-
maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine
-
lämpötila: + 5°C - +35°C
-
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy "Technical
Information"-liitteestä.
Sarjan
V2000HT
turbomolekyylipumppuja
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-
9462,
969-9562)
ja
niiden
pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
VAARA!
Pumpun
antama
tehotaso
kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan käsikirja) avulla
ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat käyttää
pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.
Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä
turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka
kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai
käyttäen
tarkoitukseen
kiinnittämiseen.
ISOF-imulaipalla
varustettu
tyhjökammioon 12 teräsruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle
2
8.8 (
= 800 N/mm
). Suosittelemme 22 Nm kiristysmomenttia.
s
r
Torbopumppu
ConFlat
siaääntilolaipalla
tyhjiökammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy "Technical Information". – liittestä.
Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical
Information" osassa.
Technologies
-yritykseen
halutaan
käyttää
muihin
jään
tai
lumen,
pölyn
suojaverkon
käyttöä
syöttöaukossa
käytetään
tulee
käyttää
täytyy
olla
yhdistettyinä
tulee
sovittaa
pumpattuun
sopivia
lisävarusteita
sen
turbopumppu
tulee
kiinnittää
tulee
kiinnittää
KÄYTTÖ
Turbopumpun
oikeaoppiseen
löytyvät valvojan käsikirjasta.
tai
Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan
kuumentaa
kuumenninta. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana
tai
sisääntulolaipan ja roottorin lämpötila ei saa olla yli 120°C.
Käyttäkää aina kuumentamisen aikana vettä jäähdytykseen.
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin kuumentamisen
aikana. Korkea lämpötila voi saada aikaan henkilöiden
loukkaantumisia.
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia.
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine).
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan
aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua.
Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten nämä pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka läpi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite "Technical information").
Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa.
Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilö.
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä
verkkovirta,
päästäkää
tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä
ja että pumpun pintalämpö on alle 50°.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle
advanced
exchange
täytettävä
ja
"Turvallisuus
ja
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää
pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli
pumppu
lainsäädännön määräämällä tavalla.
30
KÄYTTÖOHJEET
käyttöön
tarvittavat
käyttämällä
lisätilauksesta
VAARA!
!
HUOMIO!
!
HUOMIO!
!
HUOMIO!
VAARA!
VAARA!
pumppuun
ilmaa
HUOMAUTUS
serviceä
varten,
on
toimitettava
paikalliseen
myyntitoimistoon
Terveys"-kaavake,
joka
täytyy
romuttaa,
toimikaa
87-900-969-01(B)
ohjeet
saatavaa
avaten
siihen
korjausta tai
ehdottomasti
löytyy
liitteenä
kansallisen
Publicidad
Tabla de contenido
