Tabla de contenido
Publicidad
Prepričajte se, da je črpalka primerna za vašo uporabo. Črpalka
je narejena za črpanje v PVD sistemih ali čisto splošno
vakuumsko uporabo. Če želite črpalko uporabljati za kaj
drugega, prosimo, da kontaktirate Varian Vacuum Tehnologies
ali vašega dobavitelja.
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara.
NE!
OPOZORILO!
Da se izognete poškodbam, ne potiskajte prstov ali drugi
predmetov vhodni priključek turbočrpalke. Uporaba zaščite
je močno priporočena (opcijski dodatek). Če uporabljate
blažilec vibracij ali flekisibilno kovinsko podlogo se
prepričajte, da je črpalka pritrjena na osnovo.
Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje:
−
Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
−
Temperatura: od +5 °C od +35 °C
−
Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Črpalke serije Turbo – V 2000 HT lahko
uporabljate samo s posebnimi Varian upravljalci (serije 696-
9462), ki morajo biti priključeni na primarno črpalko (glej
»Tehnične informacije«).
Črpalko lahko namestite v poljuben položaj.
OPOZORILO!
The power level to the pump must be set according to the
pumped gas. S pomočjo upravljalca lahko izberete AIR ali
ARGON (glej navodila za uporabo). Če želite črpalko
uporabljati z drugimi tipi plinov, prosimo kontaktirajte Varian.
Turbo črpalko namestite v stabilem položaj tako, da povežete
vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki
lahko prenese navor 30000 Nm okoli svoje osi.
Turbočrpalka z ISOF vhodno prirobnico mora biti pritrjena na
vakuumsko posodo z 12 M10 vijaki z razredom moči, najmanj
σ
8.8 (
= 800 N/mm2). Priroročen navor za pritrjanje je 22 Nm.
r
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
UPORABA
Vsa navodila za pravilno uporabo turbočrpalke se nahajajo v
navodilih za kontrolno enoto.
Pred uporabo črpalke natančno preberite navodila.
Za doseganje boljšega (nižjega) osnovnega pritiska lahko
ohišje črpalke ogrejete s pomočjo opcijskega grelca. Pri
segrevanju črpalke temperatura vhodne prirobnice ne sme
preseči 120 °C. Tekom segrevanja zmeraj uporabljajte sistem
z vodnim hlajenjem.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez
prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2
bara (nad pritiskom atmosfere).
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s
priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2,
Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo "Tehnične informacije").
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
VZDRŽEVANJE
Črpalke serije Turbo-V 2000HT ne potrebujejo vzdrževanja.
Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte,
da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura
črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo
enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je
priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred
pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
48
NAVODILA ZA UPORABO
OPOZORILO!
!
POZOR
!
POZOR
OPOZORILO!
OPOZORILO!
OPOMBA
87-900-969-01(B)
Publicidad
Tabla de contenido
