Tabla de contenido
Publicidad
Upewnić się że pompa jest właściwa dla danego zastosowania.
Pompa została zaprojektowana dla użytku w systemach
pompowania dla próżni PVD lub ogólnie dla zastosowania
gdzie jest wymagana tzw. próżnia „czysta". W celu innych
zastosowań należy skontaktować się z firmą Varian Vacuum
Technologies lub z waszym dostawcą.
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg),
pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z
wysokim zagrożeniem pożaru.
NIE!
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby unikać uszkodzeń na osobach, nigdy nie wolno
wprowadzać
z
jakiegokolwiek
przedmiotów do otworu wejściowego turbopompy. Zaleca
się stosowanie siatki zabezpieczającej (opclonalne) Jeżeli
zostanie zastosowany dławik wibracji lub metalowy giętki
mieszek
na
otworze
wejściowym,
zamocować turbopompę do podstawy.
Podczas
działania
obowiązkowo
następujące warunki otoczenia:
−
maksymalne
ciśnienie:
atmosferycznym
−
temperatura: od +5 °C do +35 °C
−
względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek "Informacje Techniczne"
Pompy turbomolekularne serii Turbo-V2000HT muszą być
stosowane tylko i wyłącznie z jednym z odpowiednich
sterowników kontrolerów Varian ( serii 969-9462, 969-9562) i
muszą być podłączone do głównej pompy ( patrz schemat w
dodatku „Informacje Techniczne").
Turbopompa może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Poziom dostarczonej mocy do pompy musi być przystosowany
do typu pompowanego gazu. Działając przez kontroler (patrz
instrukcja kontrolera) można nastawić na POWIETRZE
ARGON (default: ARGON). Aby stosować pompę z innymi
gazami należy skontaktować się z firmą Varian.
Zamocować turbopompę w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 30000 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISOF musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez stalowych 12 śrub
M10 o
klasie nie mniejszej niż 8.8 (
Sugerujemy moment dokręcenia 22 Nm.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem "Informacje
Techniczne"
powodu
palców
lub
należy
zawsze
należy
przestrzegać
2
bary
ponad
ciśnieniem
lub
2
= 800 N/mm
s
r
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne".
UŻYTKOWANIE
Wszystkie
instrukcje
turbopompy są zawarte w instrukcji jednostki sterowania. Przed
zastosowaniem należy zapoznać się dokładnie z odpowiednią
instrukcją. Aby osiągnąć lepsze ograniczenia ciśnienia można
ogrzać obudowę popmy stosując opcjonalną nagrzewnicę.
Podczas
ewentualnego
temperatura
kołnierza
przekroczyć 120 °C. Należy zawsze stosować chłodzenie wodą
podczas operacji nagrzewania.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować
uszkodzenia ciała na osobach.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub
obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar ( ponad
ciśnienie atmosferyczne).
Unikać
uderzeń,
turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie
przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia
łożysk (Patrz dodatek „Informacje Techniczne").
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych,
łatwo
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
KONSERWACJA
Pompy serii Turbo-V2000HT nie wymagają żadnej konserwacji.
Jakakolwiek
interwencja
upoważniony personel.
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na turbopompie,
należy odłączyć konektor zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Varian lub "Varian advanced exchange service",
który
pozwoli
na
zastępstwie tej uszkodzonej.
Przed wysyłką do konstruktora pompy do naprawy lub advanced
exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do
miejscowego biura sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie"
).
załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty
musi być włożony do opakowania pompy przed jego wysyłką.
Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, należy przystąpić
do jej eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami
w meritum sprawy.
39
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
dotyczące
prawidłowego
ogrzewania
komory
wejściowego
i
wirnika
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
!
UWAGA !
wahań
lub
gwałtownych
!
UWAGA !
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
palnych
lub
radioaktywnych,
musi
być
wykonana
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
uzyskanie
zregenerowanej
INFORMACJA
87-900-969-01(B)
działania
próżniowej,
nie
może
przesunięć
należy
przez
pompy
w
Publicidad
Tabla de contenido
