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Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação
desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de
bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que
necessitam de vácuo "limpo". Para quaisquer outros tipos de
aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu
fornecedor de confiança.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
NÃO
!
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
-
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
-
temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
-
humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000HT devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a
uma
bomba
primária
(ver
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.
PERIGO!
O nível de potência fornecido à bomba deve ser o indicado pa-
ra o tipo de gás aspirado. Operando com o controller (consultar
o manual do controller) é possível seleccionar AR ou ARGON
(pré-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com outros tipos
de gases, consultar a Varian.
Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada à
câmara de vácuo através de 12 parafusos M10 de aço, classe
não inferior a 8,8 (
= 800 N/mm
s
r
de aperto de 22 Nm.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information".
esquema
em
"Technical
2
). Aconselhamos um torque
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis
ou
radioactivos,
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V2000HT não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser
pessoal autorizado.
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
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INSTRUÇÕES PARA O USO
PERIGO!
!
!
ATENÇÃO
!
!
ATENÇÃO
!
!
ATENÇÃO
PERIGO!
seguir
os
procedimentos
efectuada por
PERIGO!
NOTA
87-900-969-01(B)
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