GENEREL INFORMATION
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse.
Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere
vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug.
Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt,
eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret
anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages
uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en
måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige
normer.
Turbo-V300 ICE serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum, der er specielt velegnede til
brug i industrier, hvor halvledere anvendes. Pumperne er i
stand til at pumpe alle typer gas og gasforeninger. Denne serie
er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 56000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V300 ICE pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information".
I denne håndbog findes følgende regler:
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPLAGRING
Under transport og oplagring af pumperne skal følgende
omgivelsesbetingelser være overholdt:
-
temperatur: fra -20°C til +70°C
-
relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumperne oplagres gennem lang tid, skal de sættes i gang
på den såkaldte 'SOFT START' måde (se håndbogen til
kontrolenheden).
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse,
der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale
i
overensstemmelse
85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
VIGTIGT!
med
direktivet
VIGTIGT!
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
-
maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
temperatur: fra +5°C til +35°C
-
-
relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
"Technical Information" for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V300 ICE serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9433, 969-9533) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Tapen
og
beskyttelsesproppen
turbopumpen sluttes til systemet.
13
BRUGSANVISNING
BEMÆRK
VIGTIGT!
må
først
fjernes,
87-900-897-01(C)
når