安全について ...............................................................................................................................102
1
残存リスクについて ................................................................................................................... 102
1.1
1.2
使用に関する禁止事項 ................................................................................................................ 104
1.3
排出ガスについて ....................................................................................................................... 104
1.4
本装置について ...........................................................................................................................105
2
正しくお使いいただくために ..................................................................................................... 105
2.1
製品構成 ..................................................................................................................................... 105
2.2
各部の説明 .................................................................................................................................. 106
2.3
技術データ ...................................................................................................................................108
3
輸送および保管について .............................................................................................................108
4
設置について ...............................................................................................................................108
5
プラズマ加工を始める前の注意事項 ..........................................................................................109
6
概要 ............................................................................................................................................ 109
6.1
表面加工を実行する ................................................................................................................... 110
6.2
表面加工後の処置について ......................................................................................................... 110
6.3
本製品の操作について ................................................................................................................111
7
交換モジュールの取り付け/取り外し ......................................................................................... 111
7.1
本装置を使い始める ................................................................................................................... 112
7.2
操作メニュー .............................................................................................................................. 114
7.3
プロセス支援 .............................................................................................................................. 116
7.4
7.5
「近接」タイプの交換モジュールを使用する ............................................................................ 117
7.6
その他のタイプの交換モジュールを使用する ............................................................................ 117
7.7
本装置を使い終わったら .............................................................................................................118
8
お手入れについて ........................................................................................................................118
9
クリーニング .............................................................................................................................. 118
9.1
モジュールの交換 ....................................................................................................................... 118
9.2
トラブルシューティング .............................................................................................................119
10
環境について ...............................................................................................................................120
11
本製品の廃棄 .............................................................................................................................. 120
11.1
適合性/規格 ..................................................................................................................................120
12
12.1
CE ............................................................................................................................................... 120
12.2
FCC ............................................................................................................................................ 120
製品規格 ..................................................................................................................................... 120
12.3
ライセンスについて ................................................................................................................... 120
12.4
スペア部品について ....................................................................................................................121
13
BA-PZ3_ML / F0354401
101