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15.3 Análisis del gráfico
Se muestran BAC y ADC en la pantalla de análisis del gráfico.
Puede confirma el valor de la coordenada del gráfico de la forma de onda usando la regla.
La unidad de las coordenadas puede cambiarse a % y mm/µm (in/µin). Puede modificar el
perfil de evaluación para que concuerde con la superficie objetivo. Pulse
Z Unit]/
15.3.1
Análisis del BAC
El BAC se basa en la referencia de pico y consiste en determinar los valores Rmr
obtenidos de los niveles de corte (eje vertical) del porcentaje (0 a 100%) frente al valor Rt
en el eje horizontal y determinar el margen del eje vertical de 0 a 100%.
Especifique dos puntos en la coordenada Z del BAC para mostrar la diferencia de
coordenadas entre las coordenadas especificadas.
La diferencia de coordenadas es el punto en el que el gráfico y la regla 2 se cruzan (P2)
menos el punto en el que el gráfico y la regla 1 se cruzan (P1).
Hay 2 formas de especificar la coordenada Z: pulsando el gráfico e introduciendo los
valores de las coordenadas.
■ Especificar la coordenada Z pulsando el gráfico (Consulte 15.1 "■ Acceder a la pantalla de análisis del
gráfico".)
Pantalla de inicio ⇒
Pantalla de análisis del gráfico
15-12
[Switch to X Unit] para cambiar la unidad de la coordenada.
A: Profundidad (µm)
A: Profundidad, B: Nivel de intersección
[Graph] ⇒
[Analyze Graph]
1
Pulse
.
[Switch to
N° 99MBB463E
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