取扱説明書
図 21
3
ポンプのスイッチをオンにします。
4
ポンプにオプションの吸入口バルブが装備されている場合、バルブはポンプ
を起動してから 30 秒後に自動的に開きます。
停止の手順
ポンプを停止するには：
ポンプのスイッチをオフにします。ポンプにオプションの吸入口バルブが装
備されている場合、隔離バルブは非常に迅速に閉じて、真空チャンバーをポ
ンプから隔離します。
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オン/オフ 電源スイッチ
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
