取扱説明書
メンテナンス
ポンプの操作とメンテナンスを行う担当者は、十分な訓練を受け、事故防止規則
を熟知している必要があります。
• 高電圧に触れると、死亡する恐れがあります。常に細心の注意を払い、施行
警告
されている事故防止規則を遵守してください。
• 機械の電源を入れるときは、可動部品と高電圧に注意してください。
• 運転開始から相当時間が経過したポンプをメンテナンスする場合は、外面の
温度が 60℃を超えている場合があるため、ポンプが冷えるのを待ってくださ
い。
• メンテナンス作業を開始する前には、必ずポンプの電源を切断してくださ
い。
クリーニング
外面
IDP-10の外面は、水で少し湿らせた布で拭いてきれいにしてください。必要であ
れば、代わりにアルコールまたは中性洗剤を使用することができます。ポンプに
液体をかけたり、スプレーしたりしないでください。
内側
定期的にポンプを大気中で 1~2 分間作動させて、ポンプを洗い流します。
注
ポンプのクリーニング
Agilentのドライスクロールポンプには、従来の油密封式ポンプとは異なり、蓄積
した埃やゴミを洗浄するための液体が含まれていません。定期的にポンプを大気
中で1~2 分間作動させて、ポンプを洗い流します。使用者の特定のプロセスで経
験を積むまでは、定期的にポンプをきれいにし、使用者の特定の条件に従ってこ
のスケジュールを調整してください。
154
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual