Inficon LDS3000 Traduccion Del Manual De Instrucciones Originale página 165

INFICON
12.5 Plan de mantenimiento
Trabajos de Horas de servicio
mantenimiento
Período de tiempo
Bomba Sustituir el depósito
turbomolecular de lubricante
N.º de repuesto: 200003801
Sustituir el cojinete y el
depósito de lubricante
Limpiar el ventilador y
controlar
su funcionamiento
Accesorios Limpiar la válvula de muestreo
Calibrar la fuga calibrada
interna
Calibración Realizar la calibración interna
interna
Calibración Realizar la
externa calibración externa
Detección de Realizar la detección de fugas
fugas con He en el módulo EM
módulo EM
)
Filtro AQ * Comprobar estado. Si es
Válvula/ necesario, reemplazar
regulador
Reemplazar preventivamente
- Válvula filtro
- Anillo de filtro
ISO KF
- 0.45 µm Pall
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Si no se ejecutan los trabajos de mantenimiento conforme al plan de mantenimiento,
se extingue la garantía del módulo de espectrómetro de masas.
Leyenda del plan de mantenimiento:
• I Cliente o nivel superior
• II Cliente con formación o nivel superior
• III Técnico de mantenimiento de INFICON
• X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio o la duración
• X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio, no según la duración
1
• X Trabajos de mantenimiento según la duración, no según las horas de servicio
2
• X En función de las influencias ambientales, las condiciones de uso, la suciedad y
3
el proceso de aplicación
24 8000 16000
1 años 2 años
X
3
X
3
X
X
2
X
1
X
1
X
X
3
X
Mantenimiento | 12
24000 36000 Nivel de
manteni
3 años 4 años
miento
I y II
X III
2
I y II
III
III
I
I
III
I
I
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