6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación)
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ü Dispone de un módulo del espectrómetro de masas (acumulación) de INFICON.
ü Dispone de una bomba de vacío previo seca con su propia alimentación eléctrica.
Puede utilizar todas las bombas de vacío secas con un caudal de gas de más de
60 sccm con una presión base de menos de 5 mbar. En estas instrucciones se
describe cómo utilizar la bomba de vacío previa seca de INFICON (número de
catálogo 560-630).
ü Dispone de una cámara de medición apropiada.
La información sobre la cámara de medición se puede obtener de INFICON.
Tenga en cuenta que una cámara de medición que sea estanca, pero que no sea
resistente al vacío puede implosionar si continúa drenándose sobrepasando el
tiempo de medición habitual. Véase también «Realizar la medición [} 94]».
ü Dispone de los componentes correspondientes para un montaje según la variante
1. Véase el esquema superior.
1
Conecte el sensor de presión PSG500 a la conexión FINE.
2
Monte la brida de regulación en la cámara de medición.
Compruebe que el elemento regulador señale en dirección a la cámara.
Coloque un anillo de centrado ISO-KF con filtro entre la brida de regulación y la
cámara de medición. Para obtener detalles véase también "LDS3000 AQ –
componentes relevantes para el mantenimiento [} 164]".
3
Para establecer la conexión FINE del módulo de espectrómetro de masas con
la brida de regulación le recomendamos emplear una manguera ondulada KF.
4
Monte la brida de regulación GROSS en el puerto GROSS / FOREPUMP del
módulo del espectrómetro de masas.
5
Conecte el extremo abierto de la manguera brida de regulación GROSS a la
bomba de vacío previo.
6
Establezca la conexión eléctrica de la bomba previa.
Para utilizar la bomba previa de INFICON (número de catálogo 560-630),
proceda como se indica a continuación:
ð Determine si los bornes Plus y Minus del bloque de terminales ya han sido
conectados con cables por el fabricante.
Fig. 12: Punto de conexión a la bomba previa seca de INFICON
ð En caso afirmativo, conecte los cables Plus y Minus con una fuente de
corriente continua 24 V +/- 10 %, 5 A.
+
-
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON