12 | Mantenimiento
12.4 LDS3000 AQ – componentes relevantes para el
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mantenimiento
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Fig. 29: Regulador para AQ
Denominación
1 Anillo de centrado ISO-KF sin filtro.
Emplear solo con conexión según variante 2
(con unidad de filtro 0,45 µm Pall, pos. n.° 5).
Véase «Variante 2 [} 42]».
2 Anillo de centrado ISO-KF con filtro.
Emplear solo con conexión según variante 1
(sin instalación de la unidad de filtro 0,45 µm
Pall, pos. n.° 5). Véase «Variante 1 [} 39]».
3 Elemento regulador LDS AQ pieza de repuesto
4 Brida de regulación LDS AQ completa
5 Unidad de filtro 0,45 µm Pall.
Emplear solo con conexión según variante 2.
Véase «Variante 2 [} 42]».
6 Válvula LDS AQ.
Emplear solo con conexión de una segunda
cámara para conmutar.
7 Filtro de repuesto para válvula LDS AQ (pos. n.°
6)
8 Brida de regulación GROSS - 1,02 mm.
Para emplear con ambas variantes. Véase
«Variante 1 [} 39]» y «Variante 2 [} 42]».
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON
Cantidad
Número de
pedido
1
211-059
1
211-090
1
200009029
1
200009030
4
200009847
1
200008464
10
200009701
1
200008532
6
7
8