Índice
6.4 Establecer las conexiones eléctricas ..................................................................................................... 44
7 Funcionamiento LDS3000 ........................................................................................................................... 45
7.1 Conectar el aparato................................................................................................................................ 45
7.2 Ajustes previos....................................................................................................................................... 46
7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga ............................................................................................ 47
7.4 Seleccionar la unidad para la presión .................................................................................................... 48
7.5 Seleccionar modo de compatibilidad ..................................................................................................... 48
7.6 Seleccionar el modo de servicio ............................................................................................................ 50
7.7 Seleccionar tipo de gas (masa).............................................................................................................. 51
7.8 Calibrar el aparato.................................................................................................................................. 52
7.8.1 Momento y ajustes previos generales ........................................................................................ 52
7.8.2 Configurar e iniciar calibración interna........................................................................................ 54
7.8.3 Configurar e iniciar calibración externa....................................................................................... 55
7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa ........................................................................................ 57
7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración SL3000XL................................................... 59
7.8.6 Comprobar calibración................................................................................................................ 60
7.8.6.1
Comprobar calibración con fuga calibrada interna ............................................................ 60
7.8.6.2
Comprobar calibración con fuga calibrada externa ........................................................... 60
7.8.7 Introducir el factor de calibrado................................................................................................... 61
7.8.7.1
Factor de calibrado muestreo ............................................................................................ 61
7.8.7.2
Factor de calibrado vacío .................................................................................................. 61
7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo .................................................................................... 62
7.8.8.1
Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo...................................................... 62
7.8.8.2
Ajustar el factor máquina y de muestreo a través de la calibración de la máquina........... 63
7.9 Iniciar y parar la medición ...................................................................................................................... 64
7.10 Guardar y cargar parámetros................................................................................................................. 64
7.11 Copiar datos de medición, borrar datos de medición............................................................................. 65
7.12 Suprimir límites inferiores de gas con las funciones ZERO ................................................................... 65
7.13 Suprimir límites inferiores de gas con I·ZERO 3.0 Beta ........................................................................ 66
7.14 Representación de resultados de medición con filtros de señales ........................................................ 69
7.15 Control de la válvula de gas de traza de la bomba de vacío previo....................................................... 70
7.16 Seleccionar límites de indicación ........................................................................................................... 70
7.17 Ajustar valores de disparo...................................................................................................................... 71
7.18 Ajustar el control del capilar ................................................................................................................... 71
7.19 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular ............................................................ 72
7.20 Selección del cátodo .............................................................................................................................. 73
iv
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
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