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Referencia para la entrada para el punto de medición de presión del servicio
técnico P3
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Entrada de 20 mA para el punto de medición de presión del servicio técnico
P3
1 (véase también la imagen caja MSB)
Conexión para sensor de presión PSG500, fuga calibrada y supresor en el
preamplificador (cable triple premontado)
2 (véase también la imagen caja MSB)
Conexión para el convertidor de la bomba turbomolecular y el ventilador de la bomba
turbomolecular (cable doble premontado)
OUTPUT
Conexión para gas de traza y tres válvulas
Asignación de conectores
1
Válvula 2 (gas de traza), 24 V, máx. 1 A
2
Válvula 3 (no se utiliza, reserva)
3
Válvula 4 (no se utiliza, reserva)
4
Válvula 6 (no se utiliza, reserva)
5
GND
CONTROL UNIT, I/O / ANYBUS
Conexión para módulo I/O o módulo de bus o unidad de manejo.Longitud del cable de
datos INFICON < 30 m. Para evitar que se muestren valores de medición erróneos se
deberán respetar las longitudes de cable máximas mencionadas.
Las conexiones "Control Unit" y "I/O Anybus" tienen la misma funcionalidad. A
elección, se pueden conectar:
– Unidad de manejo CU1000 + módulo I/O IO1000
– Unidad de manejo CU1000 + módulo de bus BM1000
SERVICE
Conexión RS232 para el servicio técnico de INFICON.
24VDC
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON