Varian DRYVAR 150 Manual De Instrucciones página 15

A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples.
A tabela a seguir indica, para todas as dimensões do flange e
todos os tipos de grampos, o número de grampos e o torque
de aperto necessários.
FLANGE TIPO DE GRAMPO
ISO 63 Grampo duplo
com rosca M10
Grampo simples
com rosca M8
ISO 100 Grampo duplo
com rosca M10
Grampo duplo
com rosca M8
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
à câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
NOTA
O DRYVAR 150 não pode ser fixado por intermédio da sua
própria base.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
! ! ! !
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
! ! ! !
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
"
ATENÇÃO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.
"
ATENÇÃO!
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice
"Technical Information").
! ! ! !
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos,
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
N. TORQUE DE
APERTO
4 22 Nm
4 11 Nm
4 22 Nm
8 11 Nm
PERIGO!
PERIGO!
PERIGO!
seguir os procedimentos
Acendimento e Utilização do DRYVAR 150
Para ligar o DRYVAR 150 é suficiente fornecer a tensão de
alimentação. O controller incorporado detecta automaticamente
a corrente de alimentação e acciona a bomba.
O primeiro accionamento da bomba faz-se em "Soft Start" que,
no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente,
portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão
em "Soft Start". Para poder arrancar a bomba em "Soft Start",
será preciso reactivar na modalidade acima referida utilizando
o software (consultar o parágrafo "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" no apêndice "Technical Information").
Durante o "Soft Start", se o dispositivo "vent valve" for
instalado no DRYVAR 150, após o "start", durante 2 minutos,
activar-se-á a bomba de membrana interna com a vent valve
aberta para possibilitar a limpeza das válvulas da bomba para
humidade. Se o "Soft Start" não estiver activado, o tempo de
espera será de 30 segundos.
Se a vent valve não estiver instalada, "deixar sair o ar"
manualmente da bomba turbomolecular logo após o start até
quando esta começar a funcionar.
Quando executar estas operações, utilize sempre um gás
inerte sem poeiras, partículas ou humidade.
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do
DRYVAR 150, indica, através da frequência de intermitência,
as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de
Stop, ou de "waiting for interlock".
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Paragem do DRYVAR 150
Para parar o DRYVAR 150 é suficiente desligar a tensão de
alimentação. O controller incorporado pára imediatamente a
bomba.
Paragem de Emergência
Para parar em condições de emergência o DRYVAR 150, é
necessário retirar o cabo de alimentação da tomada de rede.
MANUTENÇÃO
O DRYVAR 150 não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",
que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações ou o "advanced exchange service", é indispensável
preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha
"Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de
instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
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INSTRUÇÕES DE USO
NOTA
! ! ! !
PERIGO!
NOTA
87-900-920-01(A)