Tabla de contenido
Publicidad
Turbopumpene
med
ISO
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene
og typer klemmer.
FLENS
TYPE KLEMME
ISO 63
Dobbel
klemme,
gjenge M10
Enkel
klemme,
gjenge M8
ISO 100
Dobbel
klemme,
gjenge M10
Enkel
klemme,
gjenge M8
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til "Teknisk informasjon".
MERK
DRYVAR 150 må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
! ! ! !
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
! ! ! !
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen.
De
høye
brannskader.
! ! ! !
FORSIKTIG!
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Dette kan føre til at lagrene skades.
! ! ! !
FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
"Teknisk informasjon).
! ! ! !
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
innløpsflens
skal
festes
ANT.
STRAMME-
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
4
22 Nm
8
11 Nm
ADVARSEL!
ADVARSEL!
temperaturene
kan
føre
ADVARSEL!
til
Starte og bruke DRYVAR 150
DRYVAR
150
veggkontakten.
Den
strømforsyningen automatisk, og sørger for å starte pumpen.
Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som
etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at
etterfølgende igangsettinger skjer uten MYK START. For å
oppnå en MYK START igjen er det nødvendig å tilbakestille
modusen
via
COMMUNICATION
Informasjon").
I løpet av "mykstart", hvis "utluftingsventilen" er installert, er det
kun membranpumpen med den åpne utluftingsventilen som
aktiveres i 2 minutter etter startkommandoen, slik at det er
mulig å rengjøre pumpens ventiler for fuktighet. Hvis "mykstart"
ikke er aktivert, vil ventetiden være på 30 sekunder.
Hvis utluftingsventilen ikke er installert, må den turbo-
molekulære pumpen "luftes" manuelt rett etter start, helt til den
begynner å rotere.
Bruk alltid fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass under slikt
arbeid.
Den grønne lysdioden LD1 på DRYVAR 150 basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
-
den lyser fast: pumpen roterer normalt
-
den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller "Waiting for
interlock"
-
den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Stoppe DRYVAR 150
DRYVAR 150 stoppes ved å kople det fra strømforsyningen.
Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart.
Nødstopp
For å nødstoppe DRYVAR 150 er det nødvendig å trekke
strømkabelen ut av veggkontakten.
VEDLIKEHOLD
til
DRYVAR 150 er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må
kun utføres av autorisert personell.
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte
systemet.
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for et overhalt system, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
BRUKERVEILEDNING
startes
ved
å
sette
strømkabelen
innebygde
styreenheten
software
(se
avsnittet
DESCRIPTION"
i
tillegget
MERK
! ! ! !
ADVARSEL!
MERK
87-900-920-01(B)
i
detekterer
"RS
232
"Teknisk
Publicidad
Tabla de contenido
