Tabla de contenido
Publicidad
DRYVAR 150 kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 221 Nm kring sin axel.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer
av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
FLÄNS
TYP AV KLAMMER
ISO 63
Dubbel klammer, gänga
M10
Enkel klammer, gänga
M8
ISO 100
Dubbel klammer, gänga
M10
Enkel klammer, gänga
M8
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information".
OBSERVERA
DRYVAR 150-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
Installation
av
tillbehörsutrustning
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar
för
riktig
användning
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
! ! ! !
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
! ! ! !
Vidrör
inte
turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
! ! ! !
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
! ! ! !
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
"Technical information").
! ! ! !
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller
radioaktiva
gaser,
bör
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i
närheten av explosiva gaser.
ska
fästas
ANT. ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
4
22 Nm
8
11 Nm
beskrivs
i
"Technical
finns
i
styrenhetens
VARNING!
VARNING!
eller
några
tillbehör
under
VIKTIGT!
VIKTIGT!
VARNING!
man
följa
de
särskilda
Start och användning av DRYVAR 150
För att starta DRYVAR 150 behöver du bara ansluta till ett
eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt av
vid
strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av
inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter sker pumpens
inledningar utan funktionen "Mjukstart". För att återaktivera
"Mjukstart" måste man återställa ovannämnda läge genom
mjukvaran
(se
DESCRIPTION" i bilagan "Technical information").
Om det har installerats en avluftningsventil sker det efter
startkommandot under "Mjukstart" en aktivering i 2 minuter
enbart av pumpen med invändigt membran, med öppen
avluftningsventil.
pumpventilerna från fukt. Om "Mjukstart" inte är aktiverad är
väntetiden 30 sekunder.
Om
avluftningsventilen
turbomolekylära pumpen manuellt "avluftas" direkt efter starten
tills den börjar rotera.
Använd alltid ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt, för
dessa moment.
Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av DRYVAR 150
anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet
fungerar:
-
fast sken: pumpen roterar normalt;
-
långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for
interlock";
-
hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Att stänga av DRYVAR 150
Om du vill stänga av DRYVAR 150 behöver du bara dra ut
elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter
omedelbart pumpens funktion.
Nödstopp
Om du i en nödsituation vill stänga av DRYVAR 150 behöver
du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget.
UNDERHÅLL
DRYVAR 150 är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras
av auktoriserad personal.
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett
renoverat system.
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte
mot
en
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med systemet.
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
16
BRUKSANVISNING
stycket
"RS
232
COMMUNICATION
OBSERVERA
Det
går
på
det
sättet
inte
är
installerad
! ! ! !
VARNING!
OBSERVERA
renoverad
enhet,
måste
87-900-920-01(B)
att
rengöra
ska
den
"hälso-
och
Publicidad
Tabla de contenido
