Tabla de contenido
Publicidad
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of
klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel
waarmee ze vastgezet moeten worden.
FLENS
KLEMTYPE
ISO 63
Dubbele
klem
M10 schroefdraad
Enkelvoudige
met M8 schroefdraad
ISO 100
Dubbele
klem
M10 schroefdraad
Enkelvoudige
met M8 schroefdraad
De
turbopomp met
ConFlat
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De DRYVAR 150 kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
Zie "Technical Information" voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
! ! ! !
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is.
! ! ! !
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
!
ATTENTIE!
Vermijd stoten of
bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. Hierdoor kunnen de lagers namelijk
schade oplopen.
! ! ! !
ATTENTIE!
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage "Technical Information").
! ! ! !
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare,
giftige
of
radioactieve
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
NR.
AANHAAL-
KOPPEL
met
4
22 Nm
klem
4
11 Nm
met
4
22 Nm
klem
8
11 Nm
inlaatflens
moet
aan
de
GEVAAR!
GEVAAR!
GEVAAR!
gassen,
moeten
de
Inschakeling en gebruik van de DRYVAR 150
Om de DRYVAR 150 in te schakelen is het voldoende om deze
van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent
automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp.
De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze "Soft Start"
die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd
wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze "Soft
Start" geschieden. Om opnieuw met "Soft Start" te starten,
moet bovengenoemde wijze met behulp van de software
gemachtigd worden (zie paragraaf "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" in de bijlage "Technical Information").
Tijdens de "Soft Start", als de ontluchtingsklep is geïnstalleerd,
zal na het startcommando alleen de pomp met het inwendige
membraan
gedurende
ontluchtingsklep om het vocht van de pompkleppen te kunnen
verwijderen. Als de "Soft Start" niet actief is, bedraagt de
wachttijd 30 seconden.
Als de ontluchtingsklep niet is geïnstalleerd, moet de
turbomoleculaire pomp direct na de start handmatig "gelucht"
worden totdat hij begint te draaien.
Gebruik altijd inert gas zonder stof, deeltjes of vocht tijdens het
uitvoeren van deze handelingen.
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de
DRYVAR 150geeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
-
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
-
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status "oploop" of "remmen" of "stop" of "waiting for
interlock";
-
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Afzetten van de DRYVAR 150
Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden
onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de
pomp.
Noodstop
Om de DRYVAR 150 in een noodtoestand te stoppen, moet de
stroomtoevoerkabel uit het stopcontact worden genomen.
ONDERHOUD
De DRYVAR 150 is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
OPMERKING
2
minuten
werken,
met
! ! ! !
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-920-01(B)
open
Publicidad
Tabla de contenido
