Varian DRYVAR 150 Manual De Instrucciones página 9

Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher
Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für
die jeweiligen Flanschgrößen und Schellenarten angegeben.
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ.
ISO 63 Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle
Gewinde M8
ISO 100 Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einzelschelle
Gewinde M8
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im
Anhang "Technical Information".
HINWEIS
Modell DRYVAR 150 kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der
Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
! ! ! !
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
! ! ! !
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht
Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
ACHTUNG!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden könnten.
! ! ! !
ACHTUNG!
Für die Belüftung der
feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der
Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über
dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe
ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical
Information").
! ! ! !
Wenn die Pumpe zur Förderung
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals
explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
Klemmschellen an
ANZUGSMOMENT
4 22 Nm
mit 4 11 Nm
4 22 Nm
mit 8 11 Nm
Vakuumkammer darf
GEFAHR!
GEFAHR!
Pumpe staub-, partikel-
GEFAHR!
von giftigen, leicht
bei Vorhandensein
Einschaltung und Gebrauch von Modell DRYVAR
die
150
Zur Einschaltung von Modell DRYVAR 150 ist es mit der
erforderlichen
eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der
Spannung und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder
freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Während der
Entlüftungsventil wird nach dem Startbefehl über 2 min nur die
interne Membranpumpe mit geöffnetem Entlüftungsventil betätigt,
damit die Feuchtigkeit aus den Pumpenventilen entfernt wird.
Wenn der "Soft Start" nicht aktiv ist, beträgt die Wartezeit 30 s.
Bei nicht
Turbomolekolarpumpe sofort nach dem Start solange manuell
zu entlüften, bis sie ihre Rotation aufnimmt.
Bei Ausführung dieser Schritte ist stets staub-, partikel- und
feuchtigkeitsfreies Inertgas zu verwenden.
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell DRYVAR
150 gibt mit
Betriebsbedingungen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen
Betrieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
die
"Waiting for Interlock".
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell DRYVAR 150
Zum Stoppen
Versorgungsspannung
Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zum Stoppen von Modell DRYVAR 150 in Notsituationen ist
der Netzstecker zu ziehen.
WARTUNG
Modell DRYVAR 150 erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die
Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
und
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden,
der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte
System zur Verfügung stellt.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den
Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit
und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an
die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der
Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der
von
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
Versorgungsspannung zu
HINWEIS
Porzedur "Soft Start"
installiertem Entlüftungsventil
der Häufigkeit ihres
von Modell DRYVAR
abzuschalten. Der
! ! ! !
GEFAHR!
HINWEIS
87-900-920-01(B)
versorgen. Der
bei installiertem
ist die
Blinkens die
150 ist die
eingebaute