Brooks Instrument GF100 Serie Manual De Instrucciones página 77

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Installation and Operation Manual
X-TMF-GF100-Series-MFC-eng
Part Number: 541B137AAG
April, 2017
Greek
Brooks Instrument
,
,
Brooks Instrument.
:
.
.
:
.
: (1)
. (2)
:
.
Brooks Instrument
25 mm
25 mm
(
/
)
Brooks Instrument
«D»
.
:
:
.
:
1.
2.
3.
:
,
,
,
,
,
'
,
/
.
.
,
,
,
,
0,5 bar (g)
(PED).
1
1
Brooks Instrument
(
2014/30/EU
,
,
.
.
CE.
.
.
.
,
ESD (
,
Appendeix C Essential Instructions
!
.
.
.
.
.
.
Brooks Instrument.
,
25 mm
1.
,
CE
EMC).
:
CE.
100%
.
.
.
(ESD)
,
.
.
.
)
.
GF100 Series
.
.
,
/
Brooks Instrument.
.`
,
.
.
.
(PED)
1
PED.
2014/34/EU.
PED.
(SEP).
(EMC)
CE.
.
360
.
100%
,
(NMOS, SMOS
.).
.
.
,
.
.
.
C-9

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Gf125 analog i/oGf125 digital i/oGf135 analog i/oGf121 analog i/o

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