使用说明
TPS-compact 的安装
如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离,从而
警告
导致财产损失或严重伤害或死亡。
TPS-compact 只能安装在垂直位置。
TPS-compact可安装在任何位置。将TPS-compact固定在稳定位置,将涡轮泵的进
气法兰安装到系统对接法兰上。
带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室
上。
有关详细信息,请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。
电源线:正确的电线电缆是三芯 (Ph+N+Earth) 电缆。电线截面必须至少为
0.75 mm
TPS-compact 不能通过其底座或其他非入口法兰固定。
小心
警告
系统必须以能够轻松中断线路电压的方式进行安装
确保系统周围至少有 20 厘米的自由空间,以允许适当的空气流通.
小心
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2
(AWG18).
Agilent TPS-compact User Manual