使用说明
高真空法兰的连接
如果转子突然停止,则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。
螺栓或硬件必须符合以下规格。.
必須以能夠承受"TPS-compact 的安装"部分中指定的扭矩的方式連接泵。
警告
特別注意卡箍的設計、卡箍和螺栓的材料和螺栓固定扭矩
仅使用高电阻级夹具(或螺栓) = 8.8。
如果泵固定在真空室上,其法兰与安捷伦推荐的法兰不同,则转子突然停止
警告
时,TPS-compact 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组
合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。
124
Agilent TPS-compact User Manual