Mode d'emploi
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information".
Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et
pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température
de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C en cas de bridage ConFlat et 80°C
en cas de bridage ISO.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte dépourvu de
ATTENTION
poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la
porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression
atmosphérique).
AVERTISSEMENT
Agilent TPS-compact User Manual
Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride d'entrée
n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la
bride de fermeture.
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels
pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être
à l'origine de lésions graves.
Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en
marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves
dommages aux personnes et aux choses.
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs,
toxiques, inflammables ou radioactifs.
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