Agilent TPS-compact Instrucciones De Uso página 27

Istruzioni per l'uso
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema verificare che tutti i collegamenti elettrici e pneumatici siano
stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto,
la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con
flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la flangia di ingresso
AVVERTENZA
non è collegata alla camera da vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le
AVVERTENZA
operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni
alle persone.
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I
AVVERTENZA
cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle
persone o alle cose.
Quando si introduce un flusso d'aria dal vent, utilizzare gas inerte esente da
ATTENZIONE
polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso
l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Non utilizzare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi,
AVVERTENZA
tossici, infiammabili o radioattivi.
Agilent TPS-compact User Manual 27