Agilent TPS-compact Instrucciones De Uso página 51

Betriebsanleitung
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse
auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die
Temperatur am Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und
bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
WARNUNG
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht
mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
WARNUNG
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder
WARNUNG
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten
beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt
werden.
Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas
VORSICHT
(z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Verwenden Sie das Pumpsystem nicht in der Nähe von explosiven,
WARNUNG
giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen.
Agilent TPS-compact User Manual 51