Agilent TPS-compact Instrucciones De Uso página 147

取扱説明書
オプションの付属品の取り付けについては、「技術情報」を参照してください。
この段落では、基本的な操作手順について詳しく説明します。
システムを使用する前には、すべての電気空気圧接続を行ってください。真空チ
ャンバーを加熱している間、インレットフランジの温度は、ConFlatフランジで
120 °C、ISOフランジで80 °Cを超えてはいけません。
ターボインレットフランジが真空チャンバーに接続されていないか、また
警告
は空になっていない場合は、ポンプシステムを使用しないでください。
加熱プロセス中は、ターボポンプまたはその付属品に触れないでくださ
警告
い。 高温により火傷する可能性があります。
操作中のポンプは、衝撃や激しい動きを避けてください。 ベアリングが破
警告
損したり、人への損傷や物が破損したりする可能性があります。
ポンプに放出するには、ほこり、粒子、または湿気（窒素など）のない不活性
注意
ガスを使用してください。ベントポートの圧力は 2 バール未満（大気圧以上）
でなければいけません.
爆発性、有毒、可燃性、または放射性ガスの存在下でポンプシステムを使
警告
用しないでください。
Agilent TPS-compact User Manual 147