Instrucciones de uso
Cortocircuitos
Si existe un cortocircuito entre el ánodo y el cátodo o, en el caso del StarCell, entre
el cátodo y el cuerpo de la bomba, se establecerá la corriente de cortocircuito de la
centralita y se indicará bajo voltaje. Si existe un cortocircuito en la unidad de control
o en el cable y conector de alto voltaje, se observará un voltaje bajo incluso cuando
el conector de alto voltaje esté desconectado de la bomba (consulte el manual de
la unidad de control).
Una lectura con un ohmnímetro en la bomba de alimentación de paso puede no ser
eficaz en la búsqueda de un corto. Los cortocircuitos pueden deberse a golpes
mecánicos en la bomba. Si la bomba está en cortocircuito, por favor póngase en
contacto con Agilent.
Instalación típica
En la siguiente figura se muestra una instalación típica que consta de:
1
Bomba VacIon Plus.
2
Unidad de control de bomba de iones.
3
Bomba de desbaste limpia (normalmente una bomba turbomolecular).
4
Manómetro de termopar, capaz de indicar la presión de la atmósfera hasta el
rango 1E-3 mbar.
5
Válvula metálica para sellar la bomba de desbaste de la cámara de vacío. Las
líneas de desbaste suelen estar hechas de tubos de acero inoxidable o cobre u
otro material de baja presión de vapor.
6
Cable de alto voltaje.
7
Bomba de respaldo primaria (por ejemplo, una bomba scroll).
8
Manómetro de vacío alto (p. Ej., Agilent UHV24 o UHV24P).
9
Cámara de vacío.
Si es necesario, también se puede instalar una válvula metálica para aislar la
bomba de iones del resto del sistema.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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