Tabla de contenido
Publicidad
取扱説明書
ショート回路 (短絡)
アノードとカソードの間、またはStarCellの場合はカソードとポンプ本体の間に短
絡があると、コントロールユニットの短絡電流が流れ、低電圧が示されます。コ
ントロールユニットまたは高電圧ケーブルとコネクターに短絡が存在する場合、
高電圧コネクターがポンプから切断されたときにも低電圧が示されます（コント
ロールユニットのマニュアルを参照してください）。
ポンプフィードスルー上の電気抵抗計の読み取り値は、短絡を見つけるのに効果
的でない場合があります。 短絡は、ポンプへの機械的な衝撃によって引き起こさ
れる可能性があります。 ポンプが短絡している場合は、Agilentにご連絡くださ
い。
標準的な設備
標準的な設備は次の図に示され、以下で構成されています：
1
VacIon Plus ポンプ。
2
イオンポンプ コントロールユニット。
3
クリーン粗引きポンプ（標準的にはターボ分子ポンプ）。
4
熱電対真空計、大気圧から1E-3 mbar までの範囲の圧力を示すことができま
す。
5
真空チャンバーから粗引きポンプを密閉するための金属製バルブ。 粗引きラ
インは通常、ステンレススチール、または銅管、または他の低蒸気圧材でで
きています。
6
高電圧ケーブル。
7
主要バッキングポンプ （例：スクロールポンプ）
8
高真空計（例：Agilent UHV24 または UHV24P）。
9
真空チェンバー。
必要に応じて、システムの他の部分からイオンポンプを密閉するための金属製バ
ルブを取り付けることもできます。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
167
Publicidad
Capítulos
Tabla de contenido
