取扱説明書
VacIon Plus 800 のセットアップと操作
VacIon Plus 800ポンプを正しく使用するためのすべての手順は、このマニュアル
および関連するポンプコントロールユニットのマニュアルに記載されています。
ポンプを使用する前に、これらのマニュアルを注意深くお読みください。
ポンプをオンにする前の予備動作
最速での始動とポンプの寿命を維持するために、Diodeバージョンでは1E-5 Torr
(mbar)以下の圧力(StarCellバージョンでは1E-4 Torr)まで大まかにポンプダ
ウンすることが推奨されます。 通常、この圧力レベルは、好ましくはオイルフリ
ーの主要ポンプによってサポートされた、ターボ分子ポンプによって容易に到達
することができます。
イオンポンプは、原則として推奨される圧力よりも高い圧力でも始動できます
が、この長時間の使用はポンプの寿命に影響を与える可能性があります。
以前は、イオンポンプを高圧で始動する必要があったのは、イオンポンプが主要
ポンプに直接接続されていたためでした。 ターボ分子ポンプの開発により、これ
は現在必要ありません。
イオンポンプの物理的動作原理に関係する吸湿性堆積物(空気への暴露およびチ
タンカソードへの水素の吸収による自然な結果としての)現象により、始動時間
は経過年数とともに増加する可能性があります。 実際、始動時に行われるポンプ
加熱により、水蒸気と以前にポンプで汲み上げられた水素が放出されます。 した
がって、始動時間が長くなることがあります。
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Agilent VacIon Plus 800 User Manual