真空评估 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

使用说明
真空评估
离子泵在真空状态下进行运输。 在卸下运输法兰以安装在真空系统上之前，建议
短暂启动泵，以验证真空完整性和正常运行。
要在排气前验证新泵的真空完整性：
1
按照控制单元说明手册中所述，将离子泵连接到控制单元。
控制单元施加到离子泵上的高电压可能导致严重伤害或死亡。确保高压电缆
警告
已正确连接到离子泵及其动力装置。 确保泵已正确接地。
2
主电源开关处于 OFF 位置时，将控制单元插入合适的电源。
3
将电源调到ON位置。
4
按照控制单元手册上的说明启动离子泵。观察设备显示屏上的读数，以指示以
下情况之一：
a
b
5
如果真空完整性已受损，在安装到系统之前，应使用质谱仪检漏器对泵进行泄
漏检查。
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如果泵没有泄漏且处于低压，则当泵送气体时，压力指示将迅速下降至或
低于 1E-8 mbar 范围。
如果泵内部的压力达到或接近大气水平，则高压馈通内可能会出现电弧，
发出爆裂声，泵电流将波动。如果发生这种情况，请立即关闭电源。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual