Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario página 59

Betriebsanleitung
Beim Entfernen der Kupferdichtung ist darauf zu achten, dass die Messerkante
VORSICHT
des Flansches nicht verkratzt wird. Heben Sie die Dichtung nicht mit einem
Schraubendreher oder einem ähnlichen Werkzeug an, da Sie dabei Gefahr
laufen, die Messerschneide zu treffen.
Wenn die Pumpe mit einem Einlasssieb ausgestattet ist, entfernen Sie dieses
VORSICHT
nicht vom Pumpenhals. Das Einlasssieb ist nicht fest mit dem Hals verbunden,
aber seine Abmessungen sind so ausgelegt, dass ein Mindestabstand zwischen
Hals und Sieb eingehalten wird, um die Stabilität und die richtige Positionierung
des Siebs zu gewährleisten.
Schließen Sie die Ionenpumpe an die Vakuumkammer mit einem kurzen Rohr mit
großem Durchmesser an, um ein möglichst hohes Saugvermögen beizubehalten.
Gehen Sie wie folgt vor:
1 Heben die Ionenpumpe an und stützen Sie sie dabei; verwenden Sie immer vier
Stützpunkte oder Ösenschrauben gleichzeitig (siehe dazu Installations-
beschreibung).
2 Prüfen Sie die Gegenflansche auf Sauberkeit und auf Kratzer an der
Messerkante.
3 Setzen Sie eine neue Kupferdichtung zwischen Pumpenflansch und
Vakuumkammerflansch ein.
4 Schrauben Sie die Gegenflansche der Pumpe mit neuen Schrauben an die
Kammer an. Bringen Sie bei Flanschen über 35 NW auch Unterlegscheiben
unter den Muttern und den Schraubenköpfen an.
5 Verwenden Sie versilberte Schrauben oder tragen Sie Hochtemperatur-
Schmiermittel auf die Schraubengewinde auf. Die Schmierung vereinfacht die
Abdichtung und Demontage. Ein empfohlenes Schmiermittel ist Fel-Pro C-100.
Achten Sie darauf, dass die Innenfläche der Pumpe oder des Vakuumsystems
nicht mit dem Schmiermittel verunreinigt wird.
Wenn die Schrauben nicht versilbert sind, ist eine Schmierung unerlässlich, um ein
HINWEIS
Festfressen von Mutter und Schraube nach dem Ausbrennen zu verhindern. Es ist
darauf zu achten, dass die dem Vakuum ausgesetzten Flächen nicht mit
Schmiermittel verunreinigt werden.
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