Manuel d'utilisation
Indicateur de vide poussé
Figure 11 Installation type
Montage
Dévissez les boulons de la bride principale et soulevez la bride pleine. Déposez la
plaque du joint en cuivre sans endommager la bride ; ne réutilisez pas la plaque.
Figure 12
84
Chambre sous vide
Pompe Vaclon
Indicateur de thermocouple
Vanne
Pompe turbomoléculaire
Pompe (à spirales)
primaire
Câble de haute tension
Contrôleur de pompe ionique
Agilent VacIon Plus 800 User Manual