Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario página 143

使用说明
拆卸铜垫片时，注意不要刮伤法兰的刀刃。请勿在尝试抬起垫片时使用螺丝刀或
小心
类似工具，因为在此操作期间可能会撞到刀刃。
如果泵配备有入口滤网，则将其安装在泵颈内。 入口滤网未固定在颈部，但其尺
小心
寸设计是为了在颈部和滤网之间保持最小的间隙，从而确保最后一个滤网的稳定
性和正确的位置。
用短长度和大直径的管道将离子泵连接到真空室，以保持尽可能高的泵速。接下来
的操作如下：
1
提起并支撑离子泵； 请始终按照安装过程中的说明同时使用四个支撑点或吊环
螺栓。
2
检查配对法兰的清洁度，刀口是否有划痕。
3
在泵法兰和真空室法兰之间放置新的铜垫片。
4
用新螺钉将泵的法兰螺栓与真空室连接。对于位于 NW 35（2.75" o.d.）的法
兰，还可以将垫圈安装在螺母和螺钉头下方。
5
使用镀银螺钉或将高温润滑剂涂抹在螺钉螺纹上。润滑简化了密封和拆卸的过
程。推荐的润滑剂是 Fel-Pro C-100。注意，不要用润滑剂污染泵或真空系统
的内表面。
如果螺钉不是镀银的，则必须进行润滑，以防止烘烤后螺母和螺钉磨损。注意不
注意
要用润滑剂污染泵或真空系统的内表面。
6
连接螺母，将每个螺母拧紧到 6 ~ 11 Nm（4.5 - 8 英尺-磅）的扭矩。拧紧螺
母后，始终紧固与法兰中心相对的螺母。这将部分缩小法兰面之间的间隙。
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