典型安装 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

使用说明
短路
如果阳极和阴极之间短路，或者在 StarCell 的情况下，阴极和泵体之间短路，则
将汲取控制单元的短路电流，并指示低电压。如果控制单元或高压电缆和接头存在
短路，则当高压接头与泵断开时，也会观察到低电压（请参阅控制单元手册）。
泵反馈装置上的欧姆表读数可能无法有效地发现短路。短路可能是由泵的机械冲击
引起的。如果泵短路，请联系安捷伦。
典型安装
典型安装如下图所示，包括：
1
真空加泵。
2
离子泵控制单元。
3
清洁粗抽泵（通常是涡轮分子泵）。
4
热偶真空计，能够指示从大气到1E-3 mbar范围的压力。
5
用于密封真空室中的粗抽泵的金属阀。粗抽线通常由不锈钢或铜管或其他低蒸
汽压力材料制成。
6
高压电缆。
7
主备用泵（例如涡旋泵）
8
高真空计（例如安捷伦 UHV24 或 UHV24P）。
9
真空室。
如果需要，还可以安装一个金属阀，以密封系统其余部分的离子泵。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 139