Kurzschlüsse; Typischer Aufbau - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Betriebsanleitung
Kurzschlüsse
Bei einem Kurzschluss zwischen der Anode und der Kathode oder, im Falle der
StarCell, zwischen der Kathode und dem Pumpenkörper wird der Steuereinheit
Strom durch den Kurzschluss gezogen und eine niedrige Spannung angezeigt.
Wenn ein Kurzschluss in der Steuereinheit oder im Hochspannungskabel und -
stecker vorhanden ist, wird die Niederspannung auch dann angezeigt, wenn der
Hochspannungsstecker von der Pumpe getrennt wird (siehe Handbuch der
Steuereinheit).
Ein Ablesen auf dem Ohm-Meter an der Pumpe könnte möglicherweise nicht dem
Auffinden eines Kurzschlusses dienen. Kurzschlüsse können durch einen
mechanischen Schlag an der Pumpe verursacht werden. Wenn die Pumpe einen
Kurzschluss hatte, wenden Sie sich an Agilent.

Typischer Aufbau

Ein typischer Aufbau ist in der folgenden Abbildung dargestellt und besteht aus:
1 VacIon Plus-Pumpe.
2 Steuereinheit der Ionenpumpe.
3 Saubere Schrupppumpe (typischerweise eine Turbomolekularpumpe).
4 Thermoelement-Manometer mit einer Anzeige des Atmosphärendrucks bis zu
1E-3 mbar.
5 Metallventil zur Abdichtung der Schrupppumpe von der Vakuumkammer. Die
Schruppleitungen bestehen normalerweise aus Edelstahl- oder Kupferrohren
oder Rohren anderer Materialien, geeignet für niedrigen Dampfdruck.
6 Hochspannungskabel.
7 Primäre Vorpumpe (z.B. eine Scroll-Pumpe).
8 Hochvakuummeter (z.B. Agilent UHV24 oder UHV24P).
9 Vakuumkammer.
Bei Bedarf kann auch ein Metallventil zur Abdichtung der Ionenpumpe vom Rest
des Systems installiert werden.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 55