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取扱説明書
注意
鋭利な先端部による怪我のリスク。
• ポンプの保守作業前、またはポンプをシステムに取り付ける、あるいは取り
外す前に、ポンプが完全に停止するまで待ってください。
• 高真空フランジ内部で直接操作しないでください。
• 必要な場合は、EN 420 にしたがって、保護手袋を着用してください。
イオンポンプの安全ガイドライン
その清浄性、さまざまなガスをポンプできる能力、およびメンテナンス不要や振
動のない操作という特徴のため、イオンポンプは超高真空を生成するために一般
的に使用されています。
サイズによっては、ポンプは重い場合があるので、適切な移動および取り扱いツ
ールを使用して取り扱う必要があります。 ポンプマニュアルのガイドラインが遵
守され、ポンプが正しくサポートされている場合に限り、原則として任意の位置
への設置が可能です。
イオンポンプには永久磁石が装備されているため、磁気干渉による装置の誤動作
を防ぐために、ポンプの近くに電子デバイスを置かないことが推奨されます。
イオンポンプは、高電圧の印加により機能します。 怪我を防ぐために、ポンプを
システムに取り付け、すべてのインレットフランジを適切に接続するか、ブラン
クオフする前に、ポンプに高電圧を接続しないでください。 ポンプに作業を行う
前に、ポンプを高電圧電源から外してください。
イオンポンプにはヒーターを装備することができます。 発熱体を取り付ける場合
は、高温が重大な損傷を与える可能性があるため、加熱および冷却段階でポンプ
に触れないでください。
器具への破損を避け、また作業員の怪我を防止するため、本説明書に記載
警告
の設置方法を厳守してください!
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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