Procedura Di Funzionamento - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Istruzioni per l'uso

Procedura di funzionamento

1 Verificare che la polarità dell'alta tensione dell'unità di controllo sia corretta per
la pompa: polarità positiva per le pompe a diodi e negativa per le pompe
StarCell. Fare riferimento al relativo manuale di istruzioni dell'unità di controllo e
seguire la procedura riportata di seguito quando si aziona la pompa: stabilire
una pressione di avviamento minima nel sistema da vuoto, mediante una
pompa da vuoto turbomolecolare (supportata da una pompa primaria). Si
consiglia di installare una valvola completamente in metallo tra la pompa ionica
e la pompa turbomolecolare, in modo da poterla isolare in una fase successiva.
2 Collegare l'unità di controllo a una fonte di alimentazione idonea e accendere
l'alimentazione. Seguire le istruzioni del manuale dell'unità di controllo per
alimentare la pompa ionica.
3 Osservare la tensione, la corrente e la pressione sul display dell'unità di
controllo. Se la pompa ionica è stata avviata a una pressione troppo alta, in
genere la tensione sarà di alcune centinaia di Volt. Se la tensione rimane
costante a questi valori, per evitare il surriscaldamento della pompa, si consiglia
di spegnerla e riavviarla a una pressione inferiore (vedere il paragrafo "Utilizzo").
Un valore di corrente vicino alla corrente di cortocircuito dell'unità di controllo
potrebbe indicare la presenza di una scarica a bagliore non confinata nella
pompa e nell'impianto. Un aumento temporaneo della pressione di evacuazione
viene solitamente notato durante qualsiasi procedura di avviamento. Se la
pompa ionica è stata avviata alla pressione consigliata, la tensione raggiunge
rapidamente il valore preimpostato (3, 5 o 7 kV). Una volta raggiunta la tensione
di esercizio, la corrente inizia a diminuire. A questo punto si consiglia di
chiudere la valvola di evacuazione per isolare la pompa ionica e il sistema dalla
pompa turbomolecolare. Se la tensione della pompa ionica scende dopo la
chiusura della valvola di evacuazione, riaprire la valvola per un ulteriore
pompaggio.
Quando la pressione diminuisce, la tensione aumenta di nuovo e la valvola di
evacuazione può essere chiusa.
4 Quando la tensione ha raggiunto il valore di funzionamento preimpostato,
impostare l'unità di controllo in condizione di PROTEZIONE, se l'unità di
controllo ha questa predisposizione. Il sistema è ora automaticamente protetto
contro gli aumenti di pressione al di sopra del limite preimpostato. Se si verifica
tale aumento, l'unità di controllo viene disattivata automaticamente.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 35