Betriebsanleitung
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten
• Vor der Reparatur der Pumpe oder vor jeder Ein-/Ausbauarbeit der Pumpe
des Systems die vollständige Ausschaltung der Pumpe abwarten.
• Nicht direkt im Inneren der Pumpe arbeiten.
• Sofern notwendig, Schutzhandschuhe gemäß EN 420 tragen.
Sicherheitsrichtlinie für Ionenpumpen
Ionenpumpen werden aufgrund ihrer Sauberkeit sowie ihrer Fähigkeit, verschiedene
Gase zu pumpen, und ihres wartungs- und vibrationsfreien Betriebs häufig zur
Erzeugung von Ultrahochvakuum verwendet.
Je nach Größe können die Pumpen schwer sein und müssen mit geeigneten
Hebezeugen und Handling-Werkzeugen gehandhabt werden. Der Einbau ist
grundsätzlich in jeder Position möglich, vorausgesetzt, die in der
Pumpenbetriebsanleitung angegebenen Richtlinien werden eingehalten und die
Pumpe wird richtig abgestützt.
Da Ionenpumpen mit Permanentmagneten ausgestattet sind, ist es ratsam, keine
elektronischen Geräte in der Nähe dieser Pumpen aufzustellen, um Störungen
aufgrund von magnetischen Interferenzen zu vermeiden.
Ionenpumpen funktionieren unter Hochspannung. Zur Vermeidung von
Verletzungen darf die Hochspannung nie an die Pumpe angeschlossen werden,
bevor sie in die Anlage eingebaut wurde und alle Eintrittsflansche richtig
angeschlossen oder verschlossen wurden. Trennen Sie die Pumpe von der
Hochspannungsversorgung, bevor Sie an der Pumpe arbeiten.
Ionenpumpen dürfen mit Heizgeräten ausgestattet werden. Wenn Heizelemente
installiert sind, darf die Pumpe während der Aufheiz- und Abkühlphase nicht berührt
werden, da die hohe Temperatur zu schweren Verletzungen führen kann.
Um Schäden an den Geräten zu vermeiden und um Verletzungen des
WARNUNG
Bedienpersonals zu verhindern, ist es notwendig, die in dieser
Betriebsanleitung ausgehändigten Installationsanweisungen strengstens
zu befolgen.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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