Procédure D'uTilisation - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Manuel d'utilisation
Procédure d'utilisation
1 Vérifiez que la polarité HT du contrôleur est correcte par rapport à la pompe :
polarité positive pour les pompes Diode et négative pour les pompes StarCell.
Consultez le manuel de l'unité de commande de la pompe et respectez la
procédure ci-dessous lors de l'utilisation de la pompe : créez une pression
minimum de démarrage dans le système de vide à l'aide d'une pompe
turbomoléculaire de prévidage (aidée par une pompe primaire). Nous vous
conseillons d'installer une vanne entièrement en métal entre la pompe ionique
et la pompe turbomoléculaire pour pouvoir l'isoler ultérieurement.
2 Branchez l'unité de commande sur une source d'alimentation adaptée et
mettez-la sur ON. Respectez les instructions du manuel de l'unité de
commande pour alimenter la pompe ionique.
3 Observez la tension, le courant et la pression sur l'afficheur de l'unité de
commande. Si la pompe ionique a été démarrée à une pression trop élevée, la
tension sera en général de quelques centaines de volts. Si la tension reste
constante à ces valeurs, nous vous conseillons de l'éteindre puis de la rallumer
à une pression inférieure afin d'éviter toute surchauffe de la pompe (consultez
le paragraphe « Utilisation »). Une valeur de courant proche du courant de
court-circuit de l'unité de commande peut indiquer la présence d'une décharge
luminescente non confinée dans la pompe et le système. Une hausse
provisoire de la pression de prévidage se produira généralement pendant la
procédure de démarrage. Si la pompe ionique a été démarrée à la pression
recommandée, la tension atteindra rapidement la valeur prédéfinie
(3, 5 ou 7 kV). Une fois à la tension de fonctionnement, le courant commencera
à diminuer. À ce stade, il vaut mieux fermer la vanne de prévidage pour isoler la
pompe ionique et le système de la pompe turbomoléculaire. Si la tension de la
pompe ionique chute après la fermeture de la vanne de prévidage, rouvrez la
vanne pour qu'un pompage de prévidage supplémentaire puisse avoir lieu.
Au fur et à mesure que la pression diminue, la tension recommence à
augmenter et la vanne de prévidage peut être fermée.
4 Lorsque la tension a atteint la valeur de fonctionnement prédéfinie, réglez l'unité
de commande sur PROTECT si cette condition est disponible sur l'unité de
commande. Le système est désormais protégé automatiquement contre les
hausses de pression supérieures à la limite prédéfinie. Si une augmentation de
ce type se produit, l'unité de commande sera éteinte automatiquement.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 91