Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario página 140

使用说明
真空室
热偶真空计
阀门
涡轮分子泵
主（涡旋）泵
高压电缆
高压电缆
离子泵控制器
真空泵
图 21 典型安装
设置
拧下主法兰螺栓并提起空白法兰。拆下铜垫片板，不得重复使用，不得损坏法兰。
图 22
140 Agilent VacIon Plus 800 User Manual