Einlassflansch Anschließen - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Betriebsanleitung
Einlassflansch anschließen
Die Pumpe sollte so montiert werden, dass ein ausreichender Freiraum für den Ein-
und Ausbau des Hochspannungssteckers vorhanden ist.
Die Pumpe muss mit der „Pinch-Off" hermetisch verschlossen gehalten werden, bis
sie zum Anschluss an das Vakuumsystem bereit ist. Das verhindert
Staubablagerungen und eine Anhäufung von sonstigen unerwünschten Materialien.
Lesen Sie sich vor dem Aufbrechen des „Pinch-Off" den entsprechenden
Kontrollablauf durch (siehe obigen Absatz).
Setzen Sie die Ionenpumpe unter Druck, sodass das Vakuum entweicht und öffnen
Sie dazu das „Pinch-Off" in einem sauberen Bereich, der frei von Smog, Staub,
Pollen u.ä. ist. Um die Pumpe unter Druck zu setzen und so das Vakuum
entweichen zu lassen wird dringend die Verwendung von trockenem Stickstoff
empfohlen. Legen Sie dazu einen sauberen Polyethylenbeutel über den Flansch der
Ionenpumpe. Kleine Pumpen können vollständig in den Beutel gesteckt werden.
Legen Sie auch eine Zange in den Beutel und spülen Sie ihn einige Minuten lang mit
sauberem, trockenem Stickstoff; fassen Sie dann die Zange außen am Beutel an,
um das „Pinch-Off" aufzubrechen.
Öffnen Sie den Quetschdichtung nicht mit einer Säge oder einem Schleifgerät.
VORSICHT
Dies würde dazu führen, dass beim Öffnen der Pumpe Metallpartikel durch die
einströmende Luft in die Pumpe gesaugt werden.
Die Quetschdichtung ist extrem scharf. Seien Sie beim Öffnen vorsichtig.
WARNUNG
Achten Sie auf Ihre Finger.
Verwenden Sie geeignete Vorgänge, um den sauberen Zustand der Pumpe und des
Vakuumsystems aufrechtzuerhalten.
Schrauben Sie die Hauptflanschschrauben ab und heben Sie den Blindflansch an.
Entfernen Sie die Kupferdichtungsplatte, die nicht wiederverwendet werden darf.
Einige Kupferoxidpartikel können an der Außenkante der Flanschdichtung anhaften.
Achten Sie darauf, dass diese oder andere Fremdmaterialien nicht in die Pumpe
gelangen.
58 Agilent VacIon Plus 800 User Manual