入口法兰连接 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

使用说明
入口法兰连接
泵的安装应留有足够的空间，以便安装和拆卸高压连接器。
泵应配有pinch-off制管来保持密封，直到准备好连接到真空系统。这样可以避免
灰尘和其他不良材料的积聚。在断开pinch-off密封之前，请查看检查程序（参见
前一段）。
在干净的无烟、无尘、无花粉的地方打开pinch-off制管，为离子泵通风。强烈建
议使用干燥氮气进行通风。 这可以通过在离子泵法兰上放置一个干净的聚乙烯袋
来完成。 小型泵可以完全放在袋子内。也将钳子放入袋子内，用清洁、干燥的氮
气清洗袋子几分钟； 然后从袋子外面拿起钳子，以防夹断。
请勿用锯或研磨机打开夹紧关闭密封。这些方法会导致金属颗粒在泵打开时被吸
小心
入的空气吸入泵中。
夹紧密封非常锋利。打开时要小心。小心你的手指。
警告
使用适当的程序来保持泵和真空系统的清洁状态。
拧下主法兰螺栓并提起空白法兰。拆下铜垫片板，不得重复使用。一些氧化铜颗粒
可能粘附在法兰垫片的外边缘。小心不要让它们或任何其他异料落入泵中。
142 Agilent VacIon Plus 800 User Manual