TDK relyon plasma piezo brush PZ3-i Manual De Instrucciones página 138

Attenzione
Il segnale "Plasma ON" può essere interpretato correttamente solo se è presente al più
presto 100 ms dopo il collegamento dell'alimentazione di tensione a 24 V.
L'alimentazione di tensione a 24 V deve ancora essere presente sull'apparecchio almeno
5 s dopo la disattivazione del segnale plasma.
Assicurarsi che il segnale "Plasma ON" possa essere attivato solo con un'alimentazione
del gas e con una potenza di aspirazione sufficienti. Consigliamo una mandata del gas di
1 secondo e un tempo di post-emissione di gas di almeno 3 secondi.
Il tempo di ciclo più breve per il segnale "Plasma ON" è pari a 500 ms. Con i tempi di ciclo
più brevi, la generazione di plasma non è affidabile. Il comportamento di oscillazione del
trasformatore piezoelettrico genera un ritardo della formazione di plasma dopo il segnale
di commutazione.
• Plasma OK
Uscita con feedback sullo stato del plasma.
In uno stato operativo affidabile, su questa uscita sono presenti 24 V.
Nello stato disinserito o in caso di errore, sono presenti 0 V.
Capacità di carico massima: 20 mA.
Attenzione
Il segnale Plasma OK controlla solamente se il modulo intercambiabile viene utilizzato in
una gamma ammissibile di parametri di esercizio e se ha luogo una scarica di plasma.
NON controlla se la potenza di attivazione raggiunge il substrato o se l'intero processo è
"OK".
• Error
Uscita con feedback sullo stato di errore.
In caso di errore, su questa uscita sono presenti 24 V.
Negli stati operativi ammessi sono presenti 0 V.
Capacità di carico massima: 20 mA.
7.3 Conferma errori
Lo stato di errore rimane attivo anche dopo la disattivazione del segnale "Plasma ON". Il
reset dopo l'eliminazione dell'errore può essere effettuato solo staccando l'alimentazione
di tensione 24 V del cavo di alimentazione CC.
Per riavviare la generazione di plasma, il segnale di commutazione "Plasma ON" deve
essere attivato nuovamente.
7.4 Inserimento / distacco del modulo intercambiabile
Per distinguerli facilmente, i moduli intercambiabili sono dotati di adesivi di vari colori.
Non rimuovere questi adesivi.
Attenzione: tensione elettrica!
In caso di sostituzione del modulo, assicurarsi che l'alimentazione elettrica sia
scollegata. Non toccare l'interno dell'apparecchio quando il modulo
intercambiabile è stato rimosso.
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