装置の説明
2.3
以下では本装置の各部の図解と名称を示します。本取扱説明書の該当箇所で、ここで記載
した名称を使って説明を行っています。
4
14
各部の名称
No.
1
交換モジュール「標準タイプ」(本体に装着した状態で表示;納入範囲に含まれ
ない)
ピエゾ素子(交換モジュールに常設)
2
3
統合ユニット(モジュールキャリア)
4
統合ユニット(ドライバー筐体)
ロックリング
5
CONFIG カバー
6
インターフェース「デジタル I/O」
7
インターフェース「モジュール out」
8
インターフェース「DC in」
9
インターフェース「モジュール in」
10
11
インターフェース 「ガス in」
12
LED ステータス表示(3 つの LED:プラズマ/警告/エラー)
モジュールキャリア調整ネジ
13
モジュールキャリア位置決めピン
14
8
6
1
5
2
13
15
3
16*
7
11
10
8
12
9
BA-PZ3_i_ML / F0354902